【キーワード】　電離，イオン，プラズマ，発生，制御，レーザー計測，電磁界，電子温度，電子密度，粒子計測，プラズマプロセス，プラズマディスプレイ，極短紫外線，環境汚染物質分解

【研究概要】　本研究室では，電離に伴うプラズマ及びイオンの発生とその制御法に関する研究を行っています．これらにより，通常の環境下では起こらない物理的・化学的反応を起こさせ，様々な先端的技術の開発を進めています．具体的には，プラズマディスプレイ，極短紫外線（EUV），蛍光ランプなどのプラズマの光源としての応用や，揮発性有機化合物やディーゼル排ガスなど大気環境汚染物質のプラズマを用いた処理に関する研究を行っています．

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【キーワード】薄膜創製，物理気相成長，同軸型アークプラズマ堆積法，スパッタリング法，レーザーアブレーション法，新規光電変換材料，ナノダイヤモンド，ダイヤモンド，鉄シリサイド，ハードコーティング，スピントロニクス素子 　

【研究概要】本研究室では，物理気相成長法による薄膜創製を基盤技術として，新規な光電変換素子，スピントロニクス素子，およびハードコーティングに関する研究開発を行っています．ダイヤモンドおよび鉄シリサイド系材料を主なターゲットとして，物理気相成長法を駆使した薄膜創製から，得られた膜の構造および物性評価，更には素子試作とそのパフォーマンス評価までの実験研究を一貫して行っています．

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【キーワード】　光デバイス，光集積回路，半導体レーザー，光スイッチ, 光センシング，光ルータ, ワイドギャップ半導体，ナノカーボン，高温高出力デバイス，電子エミッ ター，超硬・バイオコーティング

【研究概要】　本研究室では、最先端の光エレクトロニクス技術やプラズマ技術等を用い、ユビキタス光バイオセンシング・次世代光通信用の光集積素子・半導体レーザー・光スイッチ等の最先端光デバイスの研究開発、ダイヤモンド等のナノ構造半導体物質の創製、ナノ物質に新しい機能を発現する先進技術、それらを利用した高効率エレクトロニクスに関する研究開発を行い、未来社会を切り開く新しい研究を進めます。

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【キーワード】パワー半導体デバイス，パワーモジュール，パワーエレクトロニクス，Siパワーデバイス， ワイドバンドギャップ半導体デバイス，パワーMOS，IGBT，インテリジェント制御 　

【研究概要】本研究室では，低炭素社会を実現する電気エネルギーを高効率に変換するパワー半導体デバイスに関して， 以下の研究開発を行い，新たな電力ネットワークの創生を目指しています．
1) 新規パワー半導体デバイス設計技術
2) パワー半導体インテリジェント制御技術
3) 高機能パワー半導体モジュール集積化技術

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