概要

概要

電離反応工学研究室(山形・堤井研究室)では、プラズマやレーザーを用いたプロセス技術や先進デバイスの開発に取り組んでいます。

はじめに

電離反応を利用したプラズマプロセスは、通常の環境下では起こらない物理・化学的効果を発現可能であり、エレクトロニクス・材料分野から環境・エネルギー分野まで、持続可能社会を支える最先端技術です。私たちはプラズマやレーザーを駆使した各種プロセスの開発・最適化やデバイス性能の解析、新種の光源開発や環境汚染物質の分解・除去、過酷な環境下で使えるエレクトロニクス材料・デバイスやヒトにやさしいバイオ機能材料・デバイスの開発など、次世代を切り拓く先端的研究に取り組んでいます。

主な研究テーマ

  1. プラズマ/レーザープロセスのレーザー計測法によるパラメータ計測と反応制御
  2. パルスレーザー計測法による窒化物半導体の温度/歪みの非接触測定法の開発
  3. ナノ構造カーボン材料の電子エミッターへの応用
  4. ワイドバンドギャップ半導体を用いた高温ダイオードおよび高温キャパシターの開発
  5. 超硬質材料の表面機能制御とバイオ機能評価

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